安東帕納米壓痕儀，又稱納米壓入儀，是一種用于微納米尺度材料力學性能測試的高精密儀器，通過計算機控制載荷連續變化并在線監測壓入深度，實現納米級精度的力學測量。其核心原理是利用金剛石壓頭在材料表面施加微小載荷，同時記錄壓入深度與力的關系曲線，結合接觸力學模型計算材料的硬度、彈性模量等參數，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積，避免了傳統硬度測試中因彈性恢復導致的誤差。

　　以下是安東帕納米壓痕儀的主要組成部分及其功能：

　　1、控制系統：

　　控制系統是納米壓痕儀的核心，負責整個實驗過程的控制。它包括計算機和相關的軟件，可以輸入初始參數并監控加載過程中的各項指標。通過這個系統，用戶能夠設定實驗條件，并實時查看結果。

　　2、移動線圈系統：

　　這個部分通常包含一個或多個線圈，用于產生磁場以驅動加載系統。通過改變電流強度，可以精確地調整壓頭的動作。這種機制允許非常精細的力控制，從而實現對樣品表面的微小壓入。

　　3、加載系統：

　　加載系統與壓頭相連，負責將預定的負載施加到樣品上。該系統需要具有高精度和穩定性，以便準確地執行微小的壓力變化。現代納米壓痕儀中，加載系統往往采用電磁作動器，如iMicro納米壓痕儀中所使用的InForce 1000和InForce 50作動器，它們提供了電容式位移傳感和電磁力驅動。

　　4、壓頭：

　　壓頭是直接接觸樣品的部分，通常由金剛石制成，形狀有三角錐或四棱錐等不同類型。Piuma納米壓痕儀則使用了一種特別設計的光學壓痕探頭，適用于軟物質材料的研究。壓頭的選擇對于獲取準確的數據至關重要，因為它直接影響到接觸面積和應力分布。

　　5、應變儀（傳感器）：

　　應變儀用來測量壓頭壓入樣品時產生的位移，并反饋信號給控制系統以實現閉環控制。這對于確保加載過程的穩定性和重復性非常重要。

　　6、樣品臺：

　　樣品臺是用來固定待測樣品的位置。為了適應不同類型的樣品和實驗需求，樣品臺可能配備有粗進以及精進兩級移動精度的X-Y-Z平臺，例如NI16-LD型號就具備全自動的X-Y-Z位置控制系統，可實現高通量樣品硬度測量。此外，一些納米壓痕儀還配備了手動樣品移動平臺，方便樣品的安放。

　　7、顯微鏡和其他輔助設備：

　　高質量的顯微鏡可以幫助研究人員更準確地定位壓頭的位置，并觀察壓痕形成的過程。集成顯微鏡是許多高d納米壓痕儀的標準配置，比如iMicro納米壓痕儀就集成了數字變焦功能的顯微鏡。此外，還有可能包括隔振框架、溫度控制裝置等輔助設備來提高測試環境的穩定性。